檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "表面形貌".ckeyword (精準) and year="104"
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本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」,用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念,結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
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鈦酸鍶為固態氧化物燃料電池中陽極常用材料之一,因其有優越的化學穩定性及熱穩定性,亦具備不易產生碳沉積之特性。因此吸引諸多關注及學者投入相關研究。然而,鈦酸鍶本身導電率及化學活性不佳,故透過改善導電率…