簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "表面形貌".ckeyword (精準) and year="104"


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    頻差疊紋法應用於晶圓表面形貌量測之開發
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 黃堯暉 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」,用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念,結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
    • 點閱:172下載:3

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    提升鈦酸鍶之比表面積及導電度作為新一代固態氧化燃料電池之陽極材料
    • 材料科學與工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 楊福益 指導教授: 施劭儒
    • 鈦酸鍶為固態氧化物燃料電池中陽極常用材料之一,因其有優越的化學穩定性及熱穩定性,亦具備不易產生碳沉積之特性。因此吸引諸多關注及學者投入相關研究。然而,鈦酸鍶本身導電率及化學活性不佳,故透過改善導電率…
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